
Standard Guide for Design of Flat, Straight-Line Test Structures for Detecting Metallization Open-Circuit or Resistance-Increase Failure Due to Electromigration [Metric]
NORMA vydána dne 1.1.1996
Označení normy: ASTM F1259M-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
design guideline, electromigration, electromigration failure, interconnect metallization, metallization open circuit, metallization resistance, microelectronic, test structure, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities), 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)