ASTM F1239-94

Standard Test Methods for Oxygen Precipitation Characterization of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1831.00 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1831.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1239-94
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1239-94 :

Keywords:
delta O, interstitial oxygen, oxygen precipitation, oxygen reduction, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)