
Standard Test Methods for Oxygen Precipitation Characterization of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.1.2002
Označení normy: ASTM F1239-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
delta O, interstitial oxygen, oxygen precipitation, oxygen reduction, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)