NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F1238-95(2003)

Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

NORMA vydána dne 10.12.1999

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1664.90 CZK)
Anglicky -
Tištěné (1664.90 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1238-95(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.1999
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1238-95(2003) :

Keywords:
density, microelectronics, molybdenum, disilicide, refractory silicides, sputtering, sputtering targets, tantalum disilicide, titanium disilicide, tungsten disilicide, ICS Number Code 31.100 (Electronic tubes)