ASTM F1152-93(2001)

Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1574.90 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1152-93(2001)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1152-93(2001) :

Keywords:
notch, notch dimension, optical comparator, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)