ASTM F1152-02

Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1588.60 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1152-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1152-02 :

Keywords:
notch, notch dimension, optical comparator, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)