
Standard Practice for Shallow Etch Pit Detection on Silicon Wafers
NORMA vydána dne 10.6.2000
Označení normy: ASTM F1049-00
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2000
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Defects-semiconductors, Etching, Haze, wafers (silicon)- shallow etch pit detection, test,, Microscopic examination-electronic materials, wafers (silicon)- shallowetch pit detection, test, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)