Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORMA vydána dne 10.10.1997
Označení normy: ASTM E986-97
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.10.1997
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
edge sharpness, electron beam size, E 766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, performance, SEM, specimen interaction, waveform, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)