Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORMA vydána dne 1.7.2004
Označení normy: ASTM E986-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.7.2004
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
electron beam size, E 766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)