ASTM E2444-11e1

Terminology Relating to Measurements Taken on Thin, Reflecting Films (Includes all amendments And changes 5/28/2018).

NORMA vydána dne 15.10.2011

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1611.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2444-11e1
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.10.2011
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2444-11e1 :

Keywords:
cantilevers, definitions, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, terminology, test structure, ICS Number Code 01.040.31 (Electronics (Vocabularies)), 31.240 (Mechanical structures for electronic equipment)