ASTM E2444-11(2018)

Standard Terminology Relating to Measurements Taken on Thin, Reflecting Films

NORMA vydána dne 1.5.2018

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1280.60 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2444-11(2018)
Datum vydání normy: 1.5.2018
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2444-11(2018) :

Keywords:
cantilevers, definitions, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, terminology, test structure,, ICS Number Code 01.040.31 (Electronics (Vocabularies)), 31.240 (Mechanical structures for electronic equipment)