Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer (Includes all amendments And changes 5/28/2018).
NORMA vydána dne 1.11.2011
Označení normy: ASTM E2246-11e1
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.11.2011
Počet stran: 21
Přibližná hmotnost: 63 g (0.14 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)