ASTM E2245-11

Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydána dne 1.11.2011

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (2681.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2245-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.11.2011
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2245-11 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)