ASTM E2245-02

Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydána dne 10.10.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1917.80 CZK)

Tištěné (1917.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2245-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.10.2002
Počet stran: 16
Přibližná hmotnost: 48 g (0.11 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2245-02 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)