Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer (Withdrawn 2023)
NORMA vydána dne 1.5.2018
Označení normy: ASTM E2244-11(2018)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2018
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, deflection measurements, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, strain gradient, test structure,, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)