ASTM E2244-11

Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydána dne 1.11.2011

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1904.70 CZK)

Tištěné (1904.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2244-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.11.2011
Počet stran: 11
Přibližná hmotnost: 33 g (0.07 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2244-11 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, deflection measurements, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)