ASTM E2244-02

Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydána dne 10.10.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1749.20 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM E2244-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.10.2002
Počet stran: 9
Přibližná hmotnost: 27 g (0.06 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM E2244-02 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, deflection measurements, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)