Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements
NORMA vydána dne 1.11.2019
Označení normy: ASTM E1634-11(2019)
Datum vydání normy: 1.11.2019
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Auger electron spectroscopy, secondary ion mass spectrometry, stylus profilometry, surface analysis , X-ray photoelectron spectroscopy,, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)