
Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
NORMA vydána dne 24.4.1987
Označení normy: ASTM E1162-87(2001)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 24.4.1987
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
data analysis-spectrochemical, depth profiling, secondary ion mass spectrometry (SIMS), spectrometry-mass, sputter depth profiling data, surface analysis-spectrochemical analysis, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)