
Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy
NORMA vydána dne 1.10.2024
Označení normy: ASTM E1127-24
Datum vydání normy: 1.10.2024
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
angle lapping, angle-resolved AES, Auger electron spectroscopy, ball cratering, compositional depth profiling, cross sectioning, depth profiling, depth resolution, sputter depth profiling, sputtering, thin films,