Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy
NORMA vydána dne 1.10.2008
Označení normy: ASTM E1127-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.10.2008
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
angle lapping, angle-resolved AES, Auger electron spectroscopy, ball cratering, compositional depth profiling, cross sectioning, depth profiling, depth resolution, sputter depth profiling, sputtering, thin films, Surface analysis--spectrochemical analysis, Angle lapping and staining technique, Argon atmospheres, Auger electron spectroscopy (AES), Ball cratering, Crater edge profiling, Depth profiling, Gases, Ion sputtering, Noble gas ions, Nondestructive evaluation (NDE), Polishing properties