
Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy
NORMA vydána dne 10.5.2003
Označení normy: ASTM E1127-03
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.5.2003
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
angle lapping, angle-resolved AES, Auger electron spectroscopy, ball cratering, compositional depth profiling, cross sectioning, depth profiling, depth resolution, sputter depth profiling, sputtering, thin films, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)