E DIN EN 62047-21:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.

NORMA vydána dne 1.11.2012

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (1799.30 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (2171.20 CZK)

Anglicky a německy -

CD-ROM (1836.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN EN 62047-21:2012-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.11.2012
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN EN 62047-21:2012-11 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosytsemtechnik.