E DIN EN 62047-17:2011-06

Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.

NORMA vydána dne 1.6.2011

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2593.80 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (3136.80 CZK)

Anglicky a německy -

CD-ROM (2630.90 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN EN 62047-17:2011-06
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.6.2011
Počet stran: 45
Přibližná hmotnost: 135 g (0.30 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN EN 62047-17:2011-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.