DIN EN 62047-26:2016-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORMA vydána dne 1.12.2016

Německy -
PDF - okamžité stažení (2766.00 CZK)

Německy -

Tištěné (3351.10 CZK)

Německy -

CD-ROM (2803.70 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-26:2016-12
Publication date standards: 1.12.2016
The number of pages: 29
Approximate weight : 87 g (0.19 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-26:2016-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.