DIN EN 62047-21:2015-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.<

NORMA vydána dne 1.4.2015

Německy -
PDF - okamžité stažení (2145.20 CZK)

Německy -

Tištěné (2598.80 CZK)

Německy -

CD-ROM (2182.70 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-21:2015-04
Publication date standards: 1.4.2015
The number of pages: 16
Approximate weight : 48 g (0.11 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-21:2015-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.