DIN EN 62047-16:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods.

NORMA vydána dne 1.12.2015

Německy -
PDF - okamžité stažení (1992.60 CZK)

Německy -

Tištěné (2408.50 CZK)

Německy -

CD-ROM (2030.10 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-16:2015-12
Publication date standards: 1.12.2015
The number of pages: 13
Approximate weight : 39 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-16:2015-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren.