DIN 32566:2007-12

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.

NORMA vydána dne 1.12.2007

Německy -
PDF - okamžité stažení (1310.60 CZK)

Německy -

Tištěné (1581.40 CZK)

Německy -

CD-ROM (1347.80 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN 32566:2007-12
Publication date standards: 1.12.2007
The number of pages: 9
Approximate weight : 27 g (0.06 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN 32566:2007-12 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.