Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.10.2012
Označení normy: ČSN EN 62047-14
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 91588
Datum vydání normy: 1.10.2012
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 _m do 300 _m. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu