Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Aluminum by High Mass-Resolution Glow-Discharge Mass Spectrometer
NORMA vydána dne 15.6.2008
Označení normy: ASTM F1593-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.6.2008
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
aluminum, electronics, glow discharge mass spectrometer (GDMS), purity analysis, sputtering target, trace metallic impurities, Aluminum electrical conductors (semiconductors), Glow discharge mass spectrometer (GDMS), High-purity aluminum, Impurities--electronic materials/applications, Mass spectrometry--electronic materials/applications, Purity analysis--electronic materials/applications, Sputtering process/targets, Trace metallic impurities