Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORMA vydána dne 1.4.2010
Označení normy: ASTM E986-04(2010)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.4.2010
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
electron beam size, E766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform, Electron microscopy, Scanning electron microscope (SEM), ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)